Вакуумний вимикач — це тип вимикача, призначений для контролю певного діапазону рівнів вакууму; це також відоме як вакуумне реле. Його функція полягає в автоматичному розмиканні чи замиканні ланцюга керування-і одночасному створенні електричного сигналу-, коли фактичний рівень вакууму, який утворюється під час роботи, досягає заданої вимоги, таким чином даючи вказівку механізму вакуумної адсорбції для виконання нормальної роботи. Його класифікують як компонент, критичний як для надійності, так і для безпеки.
Вакуумні перемикачі поділяються на три типи: механічні, напівпровідникові та пневматичні мостові. Механічні вакуумні перемикачі визначають зміни вакуумного тиску за допомогою механічного зміщення-прикладом якого є вакуумний перемикач мембранного-типу. Напівпровідникові вакуумні перемикачі, навпаки, використовують напівпровідникові датчики тиску для виявлення змін тиску вакууму та здатні безпосередньо перетворювати виявлені сигнали тиску в електричні сигнали.